低温真空技术名词术语（四）

（18）粘附系数（Sticking Coefficient)   撞击固体表面的粒子能发生化学吸附作用的比例数。

（19）真空泵（Vacuum Pump)   获得真空的机械或器件，自用机械、物理、化学或物理化学的方法来获得真空的设备。

（20）低温抽气（Cryoexhausting)   利用低温表面使被抽气体（蒸汽）冷凝、捕集和吸附，以达到降低压强的过程，是一种获得清洁、高真空度、高比抽速真空的方法。

（21）储槽式低温泵（Storage Gryopump)  采用液氦储槽低温恒温器和液氦冷却挡板技术获得真空的低温泵。

（22）蒸发器式低温泵（Evaporator Gryopump)  按蒸发器原理，由储存器可调节地向低温面供给液氦而获得真空的低温泵。

（23）制冷机式低温泵（Refrigerator Gryopump)  将低温面（含档板）组装在低温制冷系统中所构成的获得真空的低温泵。

（24）漏气速率（Leakage Rate)  单位时间内，漏入真空容器的气体量，单位为Pa.L/s。

（25）返流（Back-streaming)  真空泵中的工作液的蒸汽，通过泵口倒流到被抽容器中去的现象。

（26）冷阱（Cold-trap)  安置在抽气泵（一般指扩散泵）和真空容器之间，用于捕集蒸汽和吸附气体的装置。