低温真空技术名词术语（三）

(11)  吸附（Adsorption)   物体表面捕获其它分子的现象，如固体表面捕集气体分子。

（12)  吸收（Absorption)   通过扩散作用将其它物质吸入 其内部的现象，如固体内部吸入气体等。

（13）解气（Desorption)  释放出吸收或吸附的物质过程。

（14）放气（出气）（Outgassing）  在真空中，从设备的表面或材料中自行放出气体的现象。

(15)除气（去气）(Degassing)    通过 人为的方法，如烘烤，放电，电子及离子轰击等，将气体从器件的表面和材料中除去的过程。

（16）温度适应系数（Accommodation Coeffient cient for Temperature)  气体分子与物体表面碰撞后，获取与物体表面温度之差的比值，以a表示，a=(Tr ---- Ti)/（Ts ---Ti）。其中Ts 为固体表面温度；Ti 、 Tr为气体碰撞前后的温度

(17)凝聚系数（Condensation)  撞击固体表面的粒子能发生物理吸附作用的比例数。